2016-10-24 | 科研部 第四届全国工业等离子体会议在我校召开
2016年10月21-22日，由中国力学学会等离子体技术专业委员会主办，南方科技大学承办的第四届全国工业等离子体会议在我校图书馆110报告厅举行。来自中国科学技术大学、哈尔滨工业大学、核工业西南物理研究院、中国科学院力学研究所、中微（上海）半导体设备制造公司等高校、科研院所和企业的近百名专家学者出席会议。我校材料系何祝兵副教授担任组委会主席。
参会专家
开幕式上，我校材料系主任程鑫教授对专家学者的到来表示欢迎。他向专家学者介绍了南方科技大学及材料系在人才引进、人才培养、科学研究、未来发展战略等方面的基本情况。
会议首先进行了三个特邀报告。其中，大连理工大学长江特聘教授王友年作了题为“一种面向感性耦合工业等离子体源的快速仿真技术”的大会报告，介绍了电感耦合等离子体（ICP）和电容耦合等离子体（CCP）的模拟仿真技术进展及其在工业界的应用；中微（上海）半导体设备制造公司副总裁倪图强作了等离子体刻蚀技术最新进展的报告，介绍了全球半导体产业及其装备产业的发展周期，以及中国“十三五”期间将有超过450亿美元的半导体芯片和存储器投资规模；华星光电技术有限公司研发部长覃事建介绍了等离子体技术在平板显示产业中的工艺应用。
随后，会议开展了23场学术报告。报告吸引了与会者的高度关注，主讲人与与会者的问答讨论气氛热烈。我校电子系汪飞副教授作了题为“等离子刻蚀技术在MEMS器件中的应用”的学术报告。
本次会议研讨了先进等离子技术及其在半导体、平板显示、新材料、新能源、国防工业、航空航天等产业中的应用，展望了工业等离子体技术的未来发展趋势，同时加强了高校、研究院所与企业的交流与合作。
供稿：材料系
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